芯光學(xué)院-集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)計(jì)優(yōu)化名家講堂

ICCSZ訊  芯光學(xué)院，是先導(dǎo)院成立的培訓(xùn)業(yè)務(wù)品牌，面向全國(guó)微電子和光電行業(yè)領(lǐng)域進(jìn)行人才培養(yǎng)，致力于為國(guó)家核心技術(shù)行業(yè)提供源源不斷的人才儲(chǔ)備。我們的目標(biāo)，是打造西北地區(qū)實(shí)訓(xùn)基地，讓更多進(jìn)入這個(gè)行業(yè)的新人能夠在培訓(xùn)中提升實(shí)操技能。我們擁有近200名國(guó)內(nèi)外專(zhuān)家智庫(kù)團(tuán)隊(duì)，與國(guó)內(nèi)外專(zhuān)業(yè)平臺(tái)聯(lián)合辦學(xué)，充分有效了解行業(yè)最新技術(shù)，提升行業(yè)認(rèn)知，可以為學(xué)員提供精準(zhǔn)和專(zhuān)業(yè)的輔導(dǎo)，打通職場(chǎng)晉升之路。

活動(dòng)主題
名家講堂-集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)計(jì)優(yōu)化
主辦單位
工業(yè)和信息化部人才交流中心（MIITEC）
陜西光電子集成電路先導(dǎo)技術(shù)研究院
承辦單位
IC智慧谷
時(shí)間地點(diǎn)
時(shí)間：2018年10月10日-11日（周三-周四）
地點(diǎn)：陜西光電子集成電路先導(dǎo)技術(shù)研究院（陜西省西安市畢原一路）
支持媒體
訊石光通訊網(wǎng)、光纖在線、芯師爺、芯司機(jī)、芯通社、芯智訊、芯片超人、半導(dǎo)體行業(yè)觀察、半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟、光刻人的世界、IC咖啡、芯榜、半導(dǎo)體圈、中國(guó)半導(dǎo)體論壇、EETOP、矽說(shuō)等。

專(zhuān)家介紹

中組部第八批“千人計(jì)劃”入選者，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所研究員，博士生導(dǎo)師；1998年畢業(yè)于德國(guó)Stuttgart大學(xué)/馬普固體研究所，獲博士學(xué)位，師從諾貝爾物理獎(jiǎng)獲得者Klaus von Klitzing；先后在美國(guó)能源部橡樹(shù)嶺國(guó)家實(shí)驗(yàn)室、美國(guó)英飛凌公司紐約研發(fā)中心、美國(guó)格羅方德公司紐約研發(fā)中心工作；由于在193nm浸沒(méi)式光刻技術(shù)上的開(kāi)創(chuàng)性貢獻(xiàn)，于2009年受SPIE邀請(qǐng)出版專(zhuān)著“Advanced processes for 193nmimmersion lithography”，該書(shū)已被美國(guó)多所高校和研究機(jī)構(gòu)作為研究生的教材和主要參考書(shū)；發(fā)表了70篇的專(zhuān)業(yè)文獻(xiàn)并持有多項(xiàng)美國(guó)專(zhuān)利。
韋亞一博士長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域設(shè)備、材料和制程研發(fā)，先后參與或主持了從180nm一直到10nm節(jié)點(diǎn)的光刻工藝研發(fā)，具有豐富的先進(jìn)光刻研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，取得了多項(xiàng)核心技術(shù)。
2013年7月回國(guó)工作，首先作為項(xiàng)目首席科學(xué)家主持了國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng)“300mm晶圓勻膠顯影設(shè)備和光刻工藝研發(fā)”（沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司）；在中科院微電子所建立了計(jì)算光刻課題組，從事20nm以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)的光源-掩模協(xié)同優(yōu)化（SMO）和光學(xué)鄰近效應(yīng)修正（OPC）研究；韋亞一的研究成果被廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)FinFET和3D NAND的量產(chǎn)工藝中；2016年7月在科學(xué)出版社出版了“超大規(guī)模集成電路的先進(jìn)光刻理論與應(yīng)用”一書(shū)；2017年3月計(jì)算光刻課題組升格為計(jì)算光刻研發(fā)中心，并被北京市授予中關(guān)村開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室，韋亞一博士任中心和開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室主任。
1.光刻技術(shù)相關(guān)設(shè)備及材料概
1.1光刻技術(shù)概述
1.2光刻技術(shù)相關(guān)設(shè)備
1.3光刻技術(shù)相關(guān)材料
1.4光刻工藝的設(shè)定與監(jiān)控
2.計(jì)算光刻
2.1光刻成像模型概述
2.2傳統(tǒng)的分辨率增強(qiáng)技術(shù)
2.3光源-掩模聯(lián)合優(yōu)化技術(shù)
2.4光學(xué)鄰近效應(yīng)修正技術(shù)
3.設(shè)計(jì)與工藝聯(lián)合優(yōu)化（DTCO）技術(shù)
3.1DTCO 的概念和分類(lèi)
3.2基于先進(jìn)光刻技術(shù)的DTCO 與基于壞點(diǎn)處理的DTCO
3.3完整的DTCO 流程及在工業(yè)中的應(yīng)用
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1. 注冊(cè)費(fèi)：3800元（2天）
注：費(fèi)用含授課費(fèi)、場(chǎng)地費(fèi)、資料費(fèi)、活動(dòng)期間餐飲，不含學(xué)員交通、住宿等費(fèi)用（學(xué)員自理）。
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2. 芯動(dòng)力合作單位學(xué)員、中科創(chuàng)星投資服務(wù)企業(yè)：3300元
在線報(bào)名請(qǐng)選擇“合作單位學(xué)員注冊(cè)”通道
3.付款與開(kāi)票
國(guó)信芯世紀(jì)南京信息科技有限公司為本期名家講堂開(kāi)具發(fā)票，發(fā)票內(nèi)容為培訓(xùn)費(fèi)。請(qǐng)于2018年10月10日前將注冊(cè)費(fèi)匯至以下賬戶，并在匯款備注中注明款項(xiàng)信息（第77期+單位+參會(huì)人姓名）。
4.付款信息
戶  名：國(guó)信芯世紀(jì)南京信息科技有限公司
開(kāi)戶行：中國(guó)工商銀行股份有限公司南京浦珠路支行
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報(bào)名截止日期：2018年10月9日12：00
活動(dòng)具體咨詢：
張志軍18009256681（微信同號(hào)）