TRUMPF(通快)的目標是采用最先進的大批量生產工藝制造短波紅外(SWIR)VCSEL,實現穩(wěn)定可靠且性能卓越的產品。該革命性的短波紅外VCSEL技術,能夠助力實現手機OLED屏下傳感器和汽車激光雷達(LiDAR)等新的應用領域。
TRUMPF集團旗下的TRUMPF Photonic Components是VCSEL和光電二極管解決方案的全球領導者,正在實現1300 nm以上短波紅外VCSEL的量產,以支持廣泛的消費類應用,例如智能手機中的OLED屏下傳感應用。TRUMPF在工業(yè)級制造平臺上展示了波長超過1300 nm的紅外激光器在效率方面的出色成果。這使得TRUMPF朝著大規(guī)模生產1300 nm至2000 nm范圍內的磷化銦(InP)VCSEL邁進了一步。
圖1 TRUMPF先進的VCSEL制造基礎設施
TRUMPF Photonic Components首席執(zhí)行官(CEO)Berthold Schmidt表示:“在TRUMPF公司,我們正在努力使這一革命性的生產工藝成熟并實施標準化,這將進一步將這項出色的VCSEL技術發(fā)展成為具有成本吸引力的解決方案。我們的目標是在2025年將第一批短波紅外VCSEL產品推向大批量市場?!?
圖2 Berthold Schmidt
“通過開發(fā)新的工業(yè)級制造平臺,TRUMPF正在擴展其目前基于砷化鎵(GaAs)的VCSEL產品組合——波長范圍為760 nm至1300 nm,適用于近紅外(NIR)激光應用。與GaAs平臺相比,新的InP平臺能夠實現更長波長的光譜,并且仍然提供與緊湊、可靠和經濟的光源相同的優(yōu)勢。雖然,我們已經為量產長波長VCSEL奠定了堅實基礎,但我們也知道,這還有很長的路要走,在大規(guī)模量產之前必須進行重大生產設備的投資。”Berthold Schmidt繼續(xù)說道。
VCSEL征服新的應用領域
長波長VCSEL的產業(yè)化可以徹底改變廣泛的應用領域,因為與近紅外VCSEL相比,短波紅外VCSEL可用于具有更高輸出功率的傳感應用,同時保持人眼安全。長波長解決方案不易受環(huán)境干擾光(例如更寬波長范圍內的陽光)的影響。OLED屏下傳感應用是智能手機和消費電子設備市場的一個流行示例?;贗nP的短波紅外VCSEL可以很容易地集成在OLED顯示屏下方,不會干擾其它功能,并且具有更高的眼睛安全標準。OLED顯示屏是長波長激光傳感解決方案的一個巨大應用領域。
Berthold Schmidt認為:“未來,我們預計不僅在消費類傳感領域,而且在汽車激光雷達(LiDAR)、更長距離的數據通信、光譜學、生物醫(yī)療,以及光子集成電路(PIC)和量子光子集成電路(QPIC)領域都有眾多機遇。相關需求促使我們的短波紅外VCSEL技術在量產上取得突破?!?
優(yōu)異的測試結果
TRUMPF提供的測試結果展示了高達140℃的工作溫度時,短波紅外VCSEL在~1390 nm波長下的性能,如圖3所示。用于制造短波紅外VCSEL的技術可擴展以進行大規(guī)模生產,發(fā)射波長可在1300 nm至2000 nm之間調節(jié),從而賦能廣泛的應用。最近的測試結果顯示了良好的可再現性和出色的溫度性能。Berthold Schmidt說道:“我為我們團隊感到自豪,因為他們的成就使TRUMPF能夠在短波紅外VCSEL性能和穩(wěn)定性方面取得優(yōu)異的成績。我們有信心可以盡快量產高效、長波長的VCSEL,以支持具有成本效益的激光傳感解決方案?!?
TRUMPF短波紅外VCSEL光功率-電流測試
新聞來源:MEMS