在硅光芯片中,通常利用Si材料的等離子體色散效應(yīng)(plasma dispesion effect), 借助于電學(xué)結(jié)構(gòu)使得光波導(dǎo)中載流子的濃度發(fā)生變化,進(jìn)而引起有效折射率的變化,借助于MZI或者微環(huán)等結(jié)構(gòu),使得光的強(qiáng)度發(fā)生變化。典型的耗盡型MZI型調(diào)制器,其長(zhǎng)度在毫米量級(jí),這一尺寸在transceiver領(lǐng)域還可以接受。但是對(duì)于未來(lái)的大規(guī)模集成光路(large scale PIC),必須尋找尺寸更小的調(diào)制器結(jié)構(gòu)?;贕eSi/Ge的電吸收調(diào)制器是潛在的解決方案之一。
Ge材料的吸收譜線如下圖所示,
(圖片來(lái)自https://www.researchgate.net/publication/224506237_Germanium_on_Silicon_for_Near-Infrared_Light_Sensing)
Ge材料在O波段和C波段都有較大的吸收系數(shù),這也是為什么硅光芯片中采用Ge作為光探測(cè)器。而Ge材料作為電吸收調(diào)制器,主要是基于Franz-Keldysh效應(yīng)(以下簡(jiǎn)稱FK效應(yīng))。在外加電場(chǎng)作用下,能帶發(fā)生傾斜,使得有效的帶隙變小,價(jià)帶電子躍遷到導(dǎo)帶的幾率大大增加。
(圖片來(lái)自文獻(xiàn)1)
從上圖中可以看出,F(xiàn)K效應(yīng)主要作用于能量略低于帶隙的光子,在外加電場(chǎng)的作用下,其吸收系數(shù)增加。通過(guò)調(diào)節(jié)外加電場(chǎng)的大小,可以調(diào)節(jié)光的強(qiáng)度,也就是所謂的電吸收調(diào)制(electro-absorption modulation)。由于FC效應(yīng)的響應(yīng)時(shí)間在亞皮秒量級(jí),EAM的帶寬主要受限于RC,典型的3dB帶寬在30GHz以上。
Ge材料gama點(diǎn)處的帶隙為0.8eV, 但由于應(yīng)力的作用,在Si波導(dǎo)上生長(zhǎng)的Ge材料的帶隙為0.77eV,對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)為1610nm。這也是基于Ge的EAM工作波長(zhǎng)位于L波段,而不是C波段。通過(guò)引入較小比例的Si,形成GeSi合金,可以將工作波長(zhǎng)調(diào)節(jié)到C波段。目前,GeSi/Ge的EAM都是工作于C或者L波段,并不能工作在O波段,而目前數(shù)據(jù)中心光模塊的工作波長(zhǎng)都是在O波段,這點(diǎn)限制了EAM型調(diào)制器在數(shù)據(jù)中心的應(yīng)用,這也是Mellanox公司放棄其1550nm產(chǎn)品線的原因之一。
Ge EAM調(diào)制器的典型結(jié)構(gòu)如下圖所示,采用橫向的pin型結(jié)構(gòu),
(圖片來(lái)自文獻(xiàn)2)
通過(guò)設(shè)計(jì)doing profile以及波導(dǎo)結(jié)構(gòu),使得光場(chǎng)與電場(chǎng)之間發(fā)生有效地交疊。文獻(xiàn)2中,零偏壓時(shí)的電場(chǎng)強(qiáng)度為9.8kV/cm, 而-2V時(shí)的電場(chǎng)強(qiáng)度變?yōu)?6kV/cm。其吸收譜曲線如下圖所示,電壓增大后,吸收系數(shù)增大(有點(diǎn)類似VOA)。
(圖片來(lái)自文獻(xiàn)2)
Ge EAM和Ge PD的結(jié)構(gòu)非常相似,小豆芽一開始有些困惑。主要的區(qū)別有以下幾點(diǎn):
1)工作波長(zhǎng),受FK效應(yīng)的限制,EAM的光學(xué)帶寬非常小,且工作波長(zhǎng)位于L波段附近,而Ge PD可以吸收能量大于其帶隙的光子
2)偏壓的工作模式,兩者都工作在反偏電壓下,區(qū)別在于Ge PD的偏壓不需要調(diào)節(jié),而Ge EAM需要反復(fù)切換電壓,以達(dá)到對(duì)光信號(hào)的調(diào)制。
3) 光電流,在Ge EAM也會(huì)產(chǎn)生光電流,它是EAM靜態(tài)功耗的主要來(lái)源。而對(duì)于Ge PD, 光電流信號(hào)是需要采集的有效信號(hào)。
下表給出了Ge EAM的最新進(jìn)展,
(圖片來(lái)自文獻(xiàn)3)
從上表可以看出,Ge EAM的尺寸非常小,長(zhǎng)度只需要幾十微米,工作波長(zhǎng)在1550nm以上,其工作電壓在3V左右,3dB帶寬可以達(dá)到56GHz,功耗較低。因此小豆芽覺得,對(duì)于大規(guī)模集成光路,對(duì)單個(gè)器件的尺寸與功耗要求比較高,此時(shí)EAM或許有用武之地。
目前,IMEC已經(jīng)提供Ge EAM相關(guān)的PDK(也是目前唯一一家),如下圖所示。
(圖片來(lái)自 https://drupal.imec-int.com/sites/default/files/2019-03/SILICON-PHOTONICS-V06.pdf )
以上是對(duì)Ge EAM的簡(jiǎn)單整理,小豆芽相信隨著PIC規(guī)模的逐漸擴(kuò)大,Ge EAM必將在硅基集成光路中扮演非常重要的角色。
新聞來(lái)源:光學(xué)小豆芽
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