伴隨著5G、大數(shù)據(jù)、區(qū)塊鏈、云計算、物聯(lián)網(wǎng)以及人工智能等應(yīng)用市場快速發(fā)展,帶來了數(shù)據(jù)流量的爆炸性增長。迫切需要通訊網(wǎng)絡(luò)具有更高的傳輸速率,更高的可靠性及更高的性價比。硅光技術(shù)是基于硅和硅基襯底材料,利用現(xiàn)有 CMOS 工藝進行光器件開發(fā)和集成的新一代技術(shù),結(jié)合了集成電路技術(shù)的超大規(guī)模、超高精度制造的特性和光子技術(shù)超高速率、超低功耗的優(yōu)勢,是未來大規(guī)模光電子集成的主流方案。和常規(guī)的大規(guī)模集成電路芯片不同,光電芯片(特別是激光器芯片)本身材料成本(III-V, II-IV 族)高、制造流程多、工藝復(fù)雜,而且硅光芯片尺寸小,集成密度高,需要測試的項目與參數(shù)比較多,其中有光-光測試,光-電測試,電-電測試以及射頻測試,因此On-wafer 測試極為重要。聯(lián)訊儀器結(jié)合自身的核心優(yōu)勢,在復(fù)雜精密探針的自動化控制,以及測試測量領(lǐng)域的專業(yè)積累,推出sCT9001全自動硅光晶圓測試機。滿足客戶晶圓級芯片在片光電性能測試與測量。
sCT9001系統(tǒng)特點
支持全自動與半自動方式上下晶圓片;
支持8寸與6寸晶圓;
支持測試溫度范圍室溫~150℃(其它溫度可定制);
支持光光測試,光電測試,電電參數(shù)測試;
支持DC與AC測試;
支持光柵垂直耦合;
光探針帶有高精度測高儀,確保不同芯片間入射光纖端面到芯片表面高度的一致性;
采用標(biāo)準(zhǔn)高精度耦合控制器,全閉環(huán)控制+硬件同步,提高耦合精度與耦合速度;
針對不同類型芯片,支持快速更換不同類型針卡;
軟件支持增加客戶數(shù)據(jù)庫與MES功能;
探針臺參數(shù):
耦合模組參數(shù):
測試參數(shù):
關(guān)于聯(lián)訊
聯(lián)訊儀器位于蘇州高新區(qū)湘江路1508號,是國內(nèi)領(lǐng)先的高端測試儀器和設(shè)備提供商。聯(lián)訊儀器主要專注于高速通信測試,光芯片測試和半導(dǎo)體測試三大領(lǐng)域,可以提供包括高速誤碼儀、網(wǎng)絡(luò)測試儀、寬帶采樣示波器、高精度波長計、光譜儀,通用數(shù)字源表等高端測試儀器,以及高速光電混合ATE, 激光器芯片老化機,激光器芯片測試機,硅光晶圓測試機,功率芯片測試機,晶圓老化機,高端測試設(shè)備。
聯(lián)訊儀器堅持以客戶為中心,以員工為根本,以創(chuàng)新為驅(qū)動,盡精微致廣大的企業(yè)文化,心懷不斷填補國內(nèi)高端測試儀器設(shè)備空白的使命,為達成國內(nèi)領(lǐng)先、國際知名的高端測試儀器設(shè)備提供商的愿景而不懈奮斗。
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