ICC訊 荷蘭費(fèi)爾德霍芬與比利時(shí)魯汶,2025年3月11日——ASML HoldingN.V.(ASML)與納米電子和數(shù)字技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先研究與創(chuàng)新中心imec今日宣布,雙方已簽署一項(xiàng)新的戰(zhàn)略合作協(xié)議,重點(diǎn)關(guān)注研究與可持續(xù)發(fā)展。
該協(xié)議為期五年,旨在通過結(jié)合ASML和imec各自的知識(shí)與專長,在兩大領(lǐng)域提供有價(jià)值的解決方案:一是推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的解決方案,二是專注于可持續(xù)創(chuàng)新的舉措。
此次合作涵蓋了ASML的整個(gè)產(chǎn)品組合,重點(diǎn)是利用ASML的系統(tǒng)開發(fā)高端節(jié)點(diǎn),包括0.55NAEUV、0.33NAEUV、DUV浸沒式光刻、YieldStar光學(xué)計(jì)量以及HMI單束和多束技術(shù)。這些設(shè)備將安裝在imec最先進(jìn)的試驗(yàn)生產(chǎn)線中,并納入歐盟和佛蘭德斯政府資助的NanoIC試驗(yàn)生產(chǎn)線,為國際半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)提供最先進(jìn)的2納米以下研發(fā)基礎(chǔ)設(shè)施。研發(fā)重點(diǎn)領(lǐng)域還將包括硅光子學(xué)、存儲(chǔ)器和先進(jìn)封裝,為未來基于半導(dǎo)體的AI應(yīng)用提供全棧創(chuàng)新。
合作的一個(gè)新領(lǐng)域是資助imec研究渠道中具有環(huán)境和社會(huì)效益的創(chuàng)新想法和活動(dòng)。
ASML總裁兼首席執(zhí)行官克里斯托夫·富凱(Christophe Fouquet)表示:“該協(xié)議標(biāo)志著ASML與imec長期合作的新一步。它體現(xiàn)了我們共同開發(fā)半導(dǎo)體行業(yè)解決方案的雄心,也符合我們投資于技術(shù)和社會(huì)廣泛受益的創(chuàng)新戰(zhàn)略?!?
imec總裁兼首席執(zhí)行官盧克·范登霍夫(Luc Vandenhove)表示:“我們很高興繼續(xù)與ASML保持長期獨(dú)特的合作伙伴關(guān)系,30多年來為行業(yè)提供最先進(jìn)的光刻解決方案。ASML全產(chǎn)品組合的加入將使我們能夠擴(kuò)展并進(jìn)一步成熟試驗(yàn)生產(chǎn)線的能力,為整個(gè)半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)提供最先進(jìn)的研發(fā)支持,以應(yīng)對(duì)AI驅(qū)動(dòng)技術(shù)進(jìn)步帶來的挑戰(zhàn)。由于imec非常注重可持續(xù)創(chuàng)新,將其明確納入我們的合作伙伴關(guān)系是一個(gè)重要的補(bǔ)充?!?
ASML對(duì)此次合作的投資得到了歐洲芯片聯(lián)合計(jì)劃(Chips Joint Undertaking)、佛蘭德斯政府(用于實(shí)現(xiàn)歐盟芯片法案NanoIC試驗(yàn)生產(chǎn)線)以及荷蘭政府(作為歐洲共同利益重要項(xiàng)目)的資金支持。
NanoIC試驗(yàn)生產(chǎn)線的收購和運(yùn)營由歐洲芯片聯(lián)合計(jì)劃通過歐盟的“數(shù)字歐洲”(101183266)和“地平線歐洲”(101183277)計(jì)劃,以及比利時(shí)(佛蘭德斯)、法國、德國、芬蘭、愛爾蘭和羅馬尼亞等參與國共同資助。更多信息請(qǐng)?jiān)L問[nanoic-project.eu](http://nanoic-project.eu)。
在imec提供0.55NA技術(shù)是荷蘭政府資助的“下一代-7A項(xiàng)目”(IPCEI22201)的一部分,該項(xiàng)目被列為歐洲共同利益重要項(xiàng)目(IPCEI)。更多信息請(qǐng)?jiān)L問[IPCEIME/CT](http://IPCEIME/CT)。
原文:https://www.imec-int.com/en/press/asml-and-imec-sign-strategic-partnership-agreement-support-semiconductor-research-and